Выпуск на базе собственных разработок масс-спектрометрических комплексов для решения следующих задач:1. Экспрессный контроль газовой фазы технологичес...
(3 голосов)
+7(812) 2927323
+7(812) 9142388
г.Санкт-Петербург, Политехническая ул., 26, Физико-технический институт им.А.Ф.Иоффе РАН
Санкт-Петербург Санкт-Петербург 194021
Россия
Галерея изображений
МКМ-10
МКМ-10
Масс-спектрометрический комплекс МКМ-10 является модификацией МКМ-1 с повышенной производительностью.
Оборудование позволяет определять пары воды в подкорпусном пространстве 25-30 микросхем за смену.
Масс-спектрометрический комплекс МКМ-10 предназначен для промышленных производств.
МКМ-1
МКМ-1
Масс-спектрометрический комплекс МКМ-1 предназначен для прецизионного контроля состава атмосферы в подкорпусном пространстве микросхем и полупроводниковых приборов (контрорль ЭРИ). Масс-спектрометрический метод контроля герметичности является наиболее совершенным и широко применяемым в различных отраслях промышленности.
Основные параметры МКМ-1:
► Полный цикл измерения МКМ-1 вне зависимости от размеров микросхемы составляет не более 1 часов.* Полный цикл измерения включает в себя подготовку микросхемы при атмосферном давлении (дегазацию внешней поверхности микросхемы от паров воды), загрузку микросхемы через шлюз камеры предварительной откачки с последующей откачкой до вакуума 1х10-6 мм.рт.ст., перемещение микросхемы с помощью магнитного транспортёра в область высокого вакуума (1х10-8), подогрев микросхемы ИК-излучением в течение 30 минут, вскрытие (разгерметизацию) корпуса микросхемы в вакууме и непосредственно анализ и определение концентрации паров воды, находившихся в подкорпусном пространстве ИС.
►Точность измерения при дифференциальном методе составляет 0,1%об., при интегральном - 0,02%об.
► масс-спектрометрический комплекс МКМ-1 одновременно измеряет процентное содержание воды, азота, кислорода и аргона в атмосфере подкорпусного пространства микросхем.
► Объём подкорпусного пространства микросхем от 0,2 мм3 до 50 см3.
► МКМ-1 поставляется в комплекте с методикой калибровки и ...
МС-200
МС-200
Газоанализатор отходящих газов МС-200 относится к времяпролётным масс-спектрометрам типа масс-рефлектрон и предназначен для контроля технологических процессов и анализа промышленных выбросов в режиме реального времени в металлургии, газовой промышленности, нефтепереработке и нефтехимии, теплоэнергетике и анализе смесей органических веществ и т.д.
Основные характеристики и преимущества газоанализатора МС-200:
• Определяются все компоненты газовой смеси в массовом диапазоне от 1 до 500 а.е.м.
• Анализ газовых проб в режиме реального времени
• Время анализа по всем компонентам: за 0.1 с.
• Возможен пробоотбор и пробоподготовка.
• Настраиваемое программное обеспечение
• Полностью автоматизированная работа
− вакуумной системы
− калибровки и самодиагностики
− записи и обработки данных
• Предусмотрен режим работы по сети (Ethernet, …)
Газоанализатор отходящих газов МС-200 определяет следующие компоненты:
Информация о газовом анализе выдается на внешний монитор в цифровом и графическом виде. Существует режим панорамного просмотра спектра.
МС-400
МС-400
Времяпролётный масс-спектрометр МС-400 предназначен для комплексного многокомпонентного анализа газовых потоков в режиме реального времени и анализа состава твердофазных навесок.
МС-400 осуществляет изотопный анализ и предназначен для динамического контроля технологических процессов и проведения специализированных исследований и экспериментов.
Масс-спектрометр МС-400 регистрирует массы во всей области спектра и определяет относительный процентный состав выделенных оператором компонентов в режиме реального времени. В приборе реализована возможность определения исходного вещества по совокупности его летучих фракций.
МС-400 работает в автоматическом режиме под управлением внешнего компьютера. Отображение информации (площадей регистрируемых ионных пиков или процентного состава определяемых компонентов) на экране монитора происходит в режиме реального времени в графическом и табличном виде. Осуществляется протоколирование данных и создание архива результатов анализа.
Газоаналитический комплекс на базе масс-спектрометра МС-400 обеспечивает:
— Непрерывный или дискретный контроль газовых проб. — Подвод газовой пробы в масс-анализатор и определение её объемного процентного состава или величин ионных токов. — Полную диагностику работы с отражением состояния комплекса на мнемосхеме и управляющем компьютере. — Передачу данных о составе газовой фазы в технологический отдел и в систему АСУ. — Создание архива данных.
Данный ...
МС-500
МС-500
Времяпролётный масс-спектрометр МС-500 предназначен для оперативной работы по определению состава газовых продуктов в автономном режиме и передачи данных по радиоканалу. Масс-спектральный газоанализатор МС-500 применяется для создания удаленных стационарных точек контроля.
МС-500 осуществляет анализ состава многокомпонентной газовой смеси, экологический мониторинг промышленных зон, изотопный контроль в зараженной местности, регистрацию компонент при проведении научных исследований в космосе .
МС-500 регистрирует массы во всей области спектра и определяет относительный процентный состав в режиме реального времени. В приборе реализована возможность определения исходного вещества по совокупности его летучих фракций.
МС-500 работает в автоматическом режиме под дистанционным управлением от удаленного компьютера по радиоканалу. Отображение информации (площадей регистрируемых ионных пиков или процентного состава определяемых компонентов) на экране монитора происходит в режиме реального времени в графическом и табличном виде.
Осуществляется протоколирование и передача данных, создание архива и результатов анализа. Оператор может дистанционно включать и выключать прибор, производить настройку прибора, изменять режимы работы.
Типовой комплекс имеет следующий состав:
1) Масс-спектрометр МС-500. 2) Выносной пульт управления 3) Защитный корпус прибора для работы в полевых условиях.
МС-800
МС-800
Времяпролётный масс-спектрометр МС-800 предназначен для изотопного анализа водородно-гелиевых и тритийсодержащих газовых смесей, присутствующих в термоядерных реакторах и реакторах, работающих на тяжелой воде.
В приборе были применены два новых режима: режим повышенной чувствительности, позволяющий обнаруживать газы, парциальное давление которых составляет 10-12 мм. рт. ст.; и режим высокого разрешения, который позволил разделить дуплеты 3He- T, HD-H3, 3He-HD и отделить 4He от неразрешенного триплета D2-H2D-HT.
В качестве тестовой смеси использовалась смесь 4He-D2.
МС-БИО
МС-БИО
МС-БИО - аппаратный масс-спектрометрический комплекс предназначен для проведения термических измерений изотопных соотношений в органических образцах.
Масс-спектрометрический комплекс позволяет проводить анализ по измерению изотопного соотношения HD/H2 в белковых молекулах в твёрдофазных биологических образцах под действием термического разложения. Основной отличительной чертой МС-БИО является предоставление оператору-исследователю возможности гарантированной идентификации образцов прошедших обработку воздействием электрических полей.
Важно отметить, что разработанный комплекс способен оперативно в режиме on-line определять величину смещения изотопного соотношения HD/H2 белковых молекул.
За содержание информации, размещенной на данном ресурсе администрация сайта ответственности не несёт.
Мнение администрации сайта может не совпадать с мнением авторов статей.
Полные правила размещения информации в интернет-каталоге находятся в разделе 'Описание проекта'.
За несоблюдение данных правил ответственность несут авторы статей.
(3 голосов) 
